SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
采用倾斜3.4°抛光SOI波导端面和在波导端面镀TiO2减反膜的方法,使SOI基动态可调光学衰减器的插入损耗减小了1.6 dB,而且回波损耗由8 dB提高至57 dB,解决了SOI波导器件回波严重这一实用化过程中的关键问题.利用上述方法研制出了完整封装的SOI基可变光学衰减器样品. 采用倾斜3.4°抛光SOI波导端面和在波导端面镀TiO2减反膜的方法,使SOI基动态可调光学衰减器的插入损耗减小了1.6 dB,而且回波损耗由8 dB提高至57 dB,解决了SOI波导器件回波严重这一实用化过程中的关键问题.利用上述方法研制出了完整封装的SOI基可变光学衰减器样品. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:03:02导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:03:02Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4272.pdf: 329580 bytes, checksum: a54529341ab4c01546b986a64b7711e8 (MD5) Previous issue date: 2006 国家"863"计划项目,国家自然科学基金资助项目 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心 国家"863"计划项目,国家自然科学基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
陈鹏;方青;李芳;刘育梁.SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究,半导体光电,2006,27(4):370-372 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
