全硅片上光互连用波导
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导（如多晶Si／SiO2、Si／SiO2、Si3N4/SiO2）需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制，总结了目前的研究进展。 国家自然科学基金项目,天津市应用基础研究重点项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
代晓光;牛萍娟;张宇;陈弘达;毛陆虹;郭维廉.全硅片上光互连用波导,激光与光电子学进展,2006,43(8):27-31 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
