偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性


Autoria(s): 赵雷; 陈涌海; 左玉华; 王海宁; 时文华
Data(s)

2006

Resumo

介绍了偏振差分反射光谱的原理,并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源,总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用,并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用。

国家自然科学基金,中国科学院专项计划项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16561

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/102918

Idioma(s)

中文

Fonte

赵雷;陈涌海;左玉华;王海宁;时文华.偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性,光谱学与光谱分析,2006,26(7):1185-1189

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文