用于神经电信号记录的多通道微探针
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
以体硅为衬底，采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针，用于记录神经电信号．从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑，制作了以二氧化硅／硅(SiO_2／Si)为主体的微探针，并详述了其具体制作工艺流程．扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20μm，各个记录点直径10μm、间距120μm，实现了各通道之间良好的信号隔离．微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄，同时针尖锥角为6°，此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤．通过体外测试得到，当频率由10 kHz增加到10 MHz时，微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ． 国家高技术研究发展计划资助,国家自然科学基金资金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
隋晓红;张若昕;裴为华;鲁琳;陈弘达.用于神经电信号记录的多通道微探针,传感技术学报,2006,19(5A):1419-1421 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
