利用光子晶体提高InP基LED出光效率
| Data(s) |
2006
|
|---|---|
| Resumo |
应用FDTD方法计算了二维无限大光子晶体的能带结构，并制备出了InP基二维平板结构的光子晶体器件．在制备过程中尝试了仅用PMMA做掩模以及PMMA和SiO2做掩模两种方法，结果表明，不使用SiO2做掩模的情况下，由于PMMA胶选择性较差，在刻蚀过程中难以保证图形的准确转移．而增加SiO2掩模后，获得了图形质量良好的光子晶体结构，成功实现了利用光子晶体结构增强LED的出光效率，与未制作光子晶体结构的LED相比，光子晶体结构LED的出光效率可在原来基础上提高1倍以上．并且随着晶格常数的增加，出光效率进一步提高。 应用FDTD方法计算了二维无限大光子晶体的能带结构，并制备出了InP基二维平板结构的光子晶体器件．在制备过程中尝试了仅用PMMA做掩模以及PMMA和SiO2做掩模两种方法，结果表明，不使用SiO2做掩模的情况下，由于PMMA胶选择性较差，在刻蚀过程中难以保证图形的准确转移．而增加SiO2掩模后，获得了图形质量良好的光子晶体结构，成功实现了利用光子晶体结构增强LED的出光效率，与未制作光子晶体结构的LED相比，光子晶体结构LED的出光效率可在原来基础上提高1倍以上．并且随着晶格常数的增加，出光效率进一步提高。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:02:36导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:02:36Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4180.pdf: 838103 bytes, checksum: fecd907117a99db9a87fc4da50649990 (MD5) Previous issue date: 2006 国家高技术研究发展计划,国家自然科学基金资助项目 中国科学院半导体研究所 国家高技术研究发展计划,国家自然科学基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
杜伟;许兴胜;孙增辉;鲁琳;高俊华;赵致民;王春霞;陈弘达.利用光子晶体提高InP基LED出光效率,半导体学报,2006,27(5):921-925 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
