神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
为了从中枢神经系统记录电信号，半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造．介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程．我们已经制造出15 μm厚，3 mn长,100μm宽的记录用探针，每根探针含有7个记录点，间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD)，感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等．测试结果给出了探针的强度和阻抗特性． 国家高科技研究发展计划资助,国家自然科学基金资助 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
张若昕;隋晓红;裴为华;陈弘达.神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造,传感技术学报,2006,19(5A):1404-1406 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
