基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
采用表面微机械技术制作了一种1310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器.该滤波器的通光孔直径约为70 μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm.并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响. 国家高技术研究发展计划资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
侯识华;孙捷;毛容伟;吴旭明;马骁宇;谭满清;陈良惠.基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器,半导体光电,2006,27(5):543-546 |
| Palavras-Chave | #半导体器件 |
| Tipo |
期刊论文 |
