SOI基光耦合器研究进展


Autoria(s): 刘艳; 余金中
Data(s)

2007

Resumo

文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。

文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。

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国家自然科学基金,973项目,863项目资助

中国科学院半导体研究所

国家自然科学基金,973项目,863项目资助

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16347

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/102212

Idioma(s)

中文

Fonte

刘艳;余金中.SOI基光耦合器研究进展,激光与红外,2007,37(1):18-21

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文