聚焦离子束研制半导体材料光子晶体
| Data(s) |
2007
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|---|---|
| Resumo |
介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体，给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合；测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱．实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件． 介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体，给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合；测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱．实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件． 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:01:55导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:55Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4084.pdf: 495051 bytes, checksum: fa91579e67ded6dc86c07d92b28daa09 (MD5) Previous issue date: 2007 国家自然科学基金资助的课题 中国科学院半导体研究所;中国科学院物理研究所 国家自然科学基金资助的课题 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
许兴胜;熊志刚;金爱子;陈弘达;张道中.聚焦离子束研制半导体材料光子晶体,物理学报,2007,56(2):916-921 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
