紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件
| Data(s) |
2007
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|---|---|
| Resumo |
利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO_2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像. 利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO_2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:01:47导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:47Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4063.pdf: 462327 bytes, checksum: 675358e3ca70adaafcc1fdc2beabd024 (MD5) Previous issue date: 2007 国家自然科学基金资助项目 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心 国家自然科学基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王玥;吴远大;李建光;安俊明;王红杰;尹小杰;张家顺;胡雄伟.紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件,半导体学报,2007,28(7):1130-1133 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
