用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶
| Data(s) |
2007
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| Resumo |
用金属有机物气相外延在纳米棒ZnO模板上沉积AlN薄膜.SEM测试表明该薄膜形成了一种倾倒纳米棒的表面.而GIXRD测试进一步证实它是纤锌矿结构的AlN,晶粒尺度约为12nm,接近于ZnO纳米棒的直径(30nm).这意味着纳米棒结构的ZnO能限制AlN的横向生长.此外,高温下用H_2刻蚀ZnO直接在生长中实现了外延层的剥离.最终得到了无支撑的AlN纳米晶,完整无破损的区域约为1cm×1cm.定义这个生长机制为"生长-刻蚀-合并"过程. 国家自然科学基金资助项目(批准号:6 5 6 2) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
胡卫国;魏鸿源;焦春美;康亭亭;张日清;刘祥林.用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶,半导体学报,2007,28(10):1508-1512 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
