采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜
| Data(s) |
2007
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|---|---|
| Resumo |
采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能. 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:01:26导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 3994.pdf: 1115483 bytes, checksum: 6ed497922cdc8297fbf73a16ae5f5003 (MD5) Previous issue date: 2007 湖北省自然科学基金,控制与仿真技术国防科技重点实验室基金,航天创新技术基金资助项目 华中科技大学;中国科学院半导体研究所;武汉光电国家实验室 湖北省自然科学基金,控制与仿真技术国防科技重点实验室基金,航天创新技术基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
张新宇;陈胜斌;季安;谢长生.采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜,半导体学报,2007,28(10):1625-1629 |
| Palavras-Chave | #微电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
