有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征
| Data(s) |
2007
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|---|---|
| Resumo |
采用有机／无机杂化溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷（MAPTMS）作为反应先躯体，四丙氧基锆（ZPO）作为调节折射率的材料，正丙醇（n-propyl alcohol）为溶剂，利用旋涂方法在Si基片上成膜，采取低温长时间、高温短时间的热处理方式，制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜（AFM）研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下，薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明 国家自然科学基金资助项目（6 5 7 6,6 477 35） |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王玥;吴远大;李建光;王红杰;胡雄伟.有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征,半导体光电,2007,28(4):525-527 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
