有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征
Data(s) |
2007
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Resumo |
采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明 国家自然科学基金资助项目(6 5 7 6,6 477 35) |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
王玥;吴远大;李建光;王红杰;胡雄伟.有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征,半导体光电,2007,28(4):525-527 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |