一种改进的膜片式FBG压力传感器的研究

报道了一种改进的膜片式光纤布拉格光栅（FBG）压力传感器，采用特殊的膜片结构和凸台固定光纤的方式，解决了存以往膜片式光纤压力传感器中存在的栅区应力不均匀问题。对存不同固定方式下栅区的应力状态进行了理论分析。实验结果表明，陔种传感器的灵敏度为M．81nm／MPa，在0．0～0．3MPa的量程内线性度在0．99以上，未出现光谱展宽现象。

报道了一种改进的膜片式光纤布拉格光栅（FBG）压力传感器，采用特殊的膜片结构和凸台固定光纤的方式，解决了存以往膜片式光纤压力传感器中存在的栅区应力不均匀问题。对存不同固定方式下栅区的应力状态进行了理论分析。实验结果表明，陔种传感器的灵敏度为M．81nm／MPa，在0．0～0．3MPa的量程内线性度在0．99以上，未出现光谱展宽现象。

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中国科学院半导体研究所