多晶AlN光学性质研究

运用X射线衍射仪和拉曼光谱仪，测量了物理气相输运（PVT）方法生长的AlN多晶材料的X射线衍射和常温拉曼光谱。常温拉曼光谱研究了晶界、晶面方向与拉曼频率的关系，观察到了E和E峰位基本不随测量位置变化，与晶界无关，但是E1（TO），A1（LO）和Quasi—LO声子峰位却明显与晶界有关，为研究晶粒间、晶粒内应力提供了有效手段。