nc-Si/SiN_x超晶格薄膜实现Nd
Data(s) |
2008
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Resumo |
采用射频磁控反应溅射法制备a—Si/SiN。超晶格薄膜材料,热退火后形成纳米Si晶粒。把nc—Si/SiN,薄膜作为饱和吸收体插入Nd 国家自然科学基金(6 678 53),国家自然科学基金重点(6 336 1 ),国家重点基础研究发展“973”计划(2 7CB6134 1)资助项目 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
王国立;郭亨群;苏培林;张春华;王启明;徐骏;陈坤基.nc-Si/SiN_x超晶格薄膜实现Nd,发光学报,2008,29(5):905-909 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |