nc-Si/SiN_x超晶格薄膜实现Nd


Autoria(s): 王国立; 郭亨群; 苏培林; 张春华; 王启明; 徐骏; 陈坤基
Data(s)

2008

Resumo

采用射频磁控反应溅射法制备a—Si/SiN。超晶格薄膜材料,热退火后形成纳米Si晶粒。把nc—Si/SiN,薄膜作为饱和吸收体插入Nd

国家自然科学基金(6 678 53),国家自然科学基金重点(6 336 1 ),国家重点基础研究发展“973”计划(2 7CB6134 1)资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15921

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/101999

Idioma(s)

中文

Fonte

王国立;郭亨群;苏培林;张春华;王启明;徐骏;陈坤基.nc-Si/SiN_x超晶格薄膜实现Nd,发光学报,2008,29(5):905-909

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文