硅基波导光开关及开关阵列的研究进展

光开关是光网络中实现光交换的核心器件。硅基波导光开关作为一类重要的开关器件，具有体积小、开关速度快、兼容性好等优点。近年来随着硅基波导制作技术的成熟，硅基波导光开关及开关阵列的研究日益受到人们的重视。文章介绍了SOI（silicon—on—insulater）光波导、聚合物光波导和SiO_2光波导等三类常见的硅基波导在光开关及开关阵列方面的一些研究进展。