硅微电子工业的发展限制及对策
| Data(s) |
2009
|
|---|---|
| Resumo |
简要介绍了硅微电子工业的发展状态、限制及对策.为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理.在此基础上,介绍了新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘忠立.硅微电子工业的发展限制及对策,微电子学,2009,39(4):552-554 |
| Palavras-Chave | #微电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
