硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究

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Autoria(s): 刘月明; 田维坚; 张少君

Data(s)	2004
Identificador	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/7698 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/71479
Fonte	刘月明；田维坚；张少君.硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究,光子学报,2004,33(3):371-374
Palavras-Chave	#光学
Tipo	期刊论文