一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究

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Autoria(s): 崔崧; 高应俊; 阮驰; 郝爱花

Data(s)	2002
Identificador	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/6886 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/70593
Idioma(s)	中文
Fonte	崔崧；阮驰.一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究,光子学报,2002,31(6):769-773
Palavras-Chave	#光学 #微透镜阵列 #光刻胶熔融法 #离子束刻蚀法 #光刻
Tipo	期刊论文