以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法

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Autoria(s): 邱春文; 石旺舟; 王晓晶; 周燕

Data(s)	2003
Identificador	http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/623 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/69802
Idioma(s)	中文
Fonte	邱春文,石旺舟,王晓晶,周燕.以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法.人工晶体学报,2003,32(4):361-365
Tipo	期刊论文