温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜光学性质的影响
Data(s) |
2005
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Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
王贺权,沈辉,巴德纯,汪保卫,闻立时.温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜光学性质的影响.材料科学与工程学报,2005,23(3):341-344 |
Tipo |
期刊论文 |