MEMS热敏微流量传感器研究

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Autoria(s): 刘国华; 张伟; 徐进良

Data(s)	2008
Identificador	http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/80 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/69069
Idioma(s)	中文
Fonte	刘国华,张伟,徐进良.MEMS热敏微流量传感器研究.微细加工技术,2008,4:53-57
Tipo	期刊论文