基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究
| Contribuinte(s) |
杨富华 韩伟华 |
|---|---|
| Data(s) |
2010
|
| Resumo |
Submitted by 阎军 (yanj@red.semi.ac.cn) on 2010-06-08T13:19:08Z No. of bitstreams: 1 王颖博士学位论文.pdf: 6199298 bytes, checksum: 635b6d0b5b18d86e2ebfbd67f6032dd5 (MD5) Approved for entry into archive by 阎军(yanj@red.semi.ac.cn) on 2010-06-08T13:20:38Z (GMT) No. of bitstreams: 1 王颖博士学位论文.pdf: 6199298 bytes, checksum: 635b6d0b5b18d86e2ebfbd67f6032dd5 (MD5) Made available in DSpace on 2010-06-08T13:20:38Z (GMT). No. of bitstreams: 1 王颖博士学位论文.pdf: 6199298 bytes, checksum: 635b6d0b5b18d86e2ebfbd67f6032dd5 (MD5) Previous issue date: 2010 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王颖.基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究[博士].北京.中国科学院研究生院.2010 |
| Palavras-Chave | #微电子学 |
| Tipo |
学位论文 |
