制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法
| Contribuinte(s) |
汤保平:中科专利商标代理有限责任公司 中国科学院半导体研究所 |
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| Data(s) |
12/08/2010
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| Resumo |
本发明一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束，然后将金属盐FeCl3和H2PtCl6加入所述反胶束溶液中，形成金属盐负载的反胶束;步骤2:利用旋涂法在硅衬底上获得反胶束阵列，并通过氧等离子体和氢等离子体刻蚀而得到单分散性良好的FePt纳米颗粒阵列;步骤3:用磁控溅射法在FePt纳米颗粒阵列上覆盖一层SiO2保护层;步骤4:保护气氛下对样品进行高温退火，完成平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的制作。 本发明一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束，然后将金属盐FeCl3和H2PtCl6加入所述反胶束溶液中，形成金属盐负载的反胶束;步骤2:利用旋涂法在硅衬底上获得反胶束阵列，并通过氧等离子体和氢等离子体刻蚀而得到单分散性良好的FePt纳米颗粒阵列;步骤3:用磁控溅射法在FePt纳米颗粒阵列上覆盖一层SiO2保护层;步骤4:保护气氛下对样品进行高温退火，完成平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的制作。 于AD批量导入至AEzhangdi Made available in DSpace on 2010-08-12T05:13:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 3592.pdf: 456942 bytes, checksum: 4b39c1e0ed3268986851b443cd037f00 (MD5) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
张兴旺;高 云;屈 盛;陈诺夫 ,制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法,CN200810115182.1 ,2008-06-18 |
| Tipo |
专利 |
