一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器及其制作方法
Contribuinte(s) |
王波波:中科专利商标代理有限责任公司 中国科学院半导体研究所 |
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Data(s) |
12/08/2010
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Resumo |
本发明是一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制作方法。所述激光器包括N电极(1),N型GaAs衬底(2),N型GaAs/AlGaAs材料系的下分布布拉格反射镜(DBR)(3),InP基应变量子阱有源区(4),GaAs/AlGaAs材料系的上DBR(5),其中上DBR(5),由P型DBR(6)和本征DBR(7)组成,SiO2掩膜(8),P电极(9),出光窗口(10)。所述结构和所述方法改进了传统长波长VCSEL的DBR材料折射率差较小,热导、电导差的缺点,不仅可实现很好的电流限制,而且降低材料的吸收损耗、生长的难度和免去二次外延工艺步骤。 本发明是一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制作方法。所述激光器包括N电极(1),N型GaAs衬底(2),N型GaAs/AlGaAs材料系的下分布布拉格反射镜(DBR)(3),InP基应变量子阱有源区(4),GaAs/AlGaAs材料系的上DBR(5),其中上DBR(5),由P型DBR(6)和本征DBR(7)组成,SiO2掩膜(8),P电极(9),出光窗口(10)。所述结构和所述方法改进了传统长波长VCSEL的DBR材料折射率差较小,热导、电导差的缺点,不仅可实现很好的电流限制,而且降低材料的吸收损耗、生长的难度和免去二次外延工艺步骤。 于AD批量导入至AEzhangdi Made available in DSpace on 2010-08-12T05:13:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 3549.pdf: 2173605 bytes, checksum: 9d09510ca55fa8b52480650cefb03303 (MD5) |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
渠红伟;郑婉华;刘安金;王 科;张冶金;彭红玲;陈良惠 ,一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器及其制作方法,CN200810119582.X ,2008-09-03 |
Tipo |
专利 |