SOI纳米结构晶体管的制备与研究

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Autoria(s): 杨香

Contribuinte(s)	杨富华 韩伟华
Data(s)	2009
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6208 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/60664
Idioma(s)	中文
Fonte	杨香.SOI纳米结构晶体管的制备与研究.[博士].北京.中国科学院半导体研究所.2009
Palavras-Chave	#微电子学与固体电子学
Tipo	学位论文