大直径SI-GaAs 单晶的VGF 生长技术和材料性质研究


Autoria(s): 占荣
Contribuinte(s)

惠峰

赵有文

Data(s)

2008

Resumo

Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z

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Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5993

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/60558

Idioma(s)

中文

Fonte

占荣.大直径SI-GaAs 单晶的VGF 生长技术和材料性质研究.[硕士].北京.中国科学院半导体研究所.2008

Palavras-Chave #材料物理与化学
Tipo

学位论文