CVD系统的统一模型(Si-H-Cl外延系统流体力学化学热力学统一模型计算)
| Contribuinte(s) |
梁骏吾 |
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| Data(s) |
1999
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| Resumo |
Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
杨辉.CVD系统的统一模型(Si-H-Cl外延系统流体力学化学热力学统一模型计算).[博士].北京.中国科学院半导体研究所. |
| Palavras-Chave | #半导体物理与半导体器件物理 |
| Tipo |
学位论文 |
