3C-SiC/Si材料的生长及其质量表征方法的研究


Autoria(s): 朱建军
Contribuinte(s)

梁骏吾

Data(s)

1998

Resumo

Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z

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Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4513

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/59812

Idioma(s)

中文

Fonte

朱建军.3C-SiC/Si材料的生长及其质量表征方法的研究.[博士].北京.中国科学院半导体研究所.

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

学位论文