杂质在Pd硅化物形成时的行为
| Contribuinte(s) |
许振嘉 |
|---|---|
| Data(s) |
1987
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| Resumo |
Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王金义.杂质在Pd硅化物形成时的行为.[硕士].北京.中国科学院半导体研究所. |
| Palavras-Chave | #半导体表面、界面物理 |
| Tipo |
学位论文 |
