溅射离子泵的电源
| Contribuinte(s) |
张晋 中国科学院近代物理研究所 |
|---|---|
| Data(s) |
22/11/2006
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| Resumo |
本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可以同时向至少两台溅射离子泵供电。 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Direitos |
1 |
| Fonte |
杨晓天、张军辉、游志明、高大庆、蒙峻、胡振军、张喜平、候生军、张新俊,溅射离子泵的电源 ,200520078831.7,2005-05-23 |
| Tipo |
专利 |
