单电荷态ECR离子源

本实用新型涉及一种单电荷态ＥＣＲ离子源，包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒；磁铁部分为永磁体，在弧腔内设有双层水冷；在微波窗前设有微波产生及传输装置；本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永磁体可避免对永磁体的腐蚀，另用永磁体代替线包，可减少调节量、降低造价，另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本。