一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备
| Contribuinte(s) |
烟台海岸带可持续发展研究所 |
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| Data(s) |
29/09/2010
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| Resumo |
本发明涉及一种气体传感器，特别是一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备。栅绝缘层上设表面修饰层和功能层；源电极和漏电极分别连接于功能层，功能层以n型有机半导体材料氟取代酞菁金属化合物为原料。本发明利用有机半导体材料取代无机半导体材料作为器件的功能层，在灵敏度和响应速度主要性能均达到目前市场上无机产品的同时，该二氧化氮气体传感器在制作工艺上也大为简化，只需将修饰好的基片采用一次性真空蒸镀的方法制备器件的功能层和源漏电极即完成了整个器件的制作，制备条件温和，制作周期缩短 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Direitos |
烟台海岸带可持续发展研究所 |
| Fonte |
于顺洋;许玉云;李琳娜 ,一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备,200910255704.2,40165 |
| Palavras-Chave | #仪器仪表 |
| Tipo |
专利 |
