一种气体传感器及其制备方法

本发明属于传感器技术领域，特别是一种气体传感器及其制备方法。包括栅电极、栅绝缘层、源电极和漏电极组成，其特征在于：栅绝缘层上设功能层，源电极和漏电极分别连接于功能层；或者源电极和漏电极分别连接于栅绝缘层，包含两侧源电极、漏电极的部分表面并露出于源电极和漏电极之间的栅绝缘层上形成功能层；栅绝缘层以氟化物为原料。本发明利用有机半导体材料取代无机半导体材料作为器件的功能层，并采用氟化物作为器件的绝缘层，制备了底栅顶接触和底栅底接触结构的有机薄膜晶体管气体传感器。器件于真空室中蒸镀一次性完成，大大简化了器件的制作工艺，减少了器件的制作周期。