氧分压和沉积速率对ＹＳＺ薄膜残余应力的影响　

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Autoria(s): 肖祁陵

Data(s)	2009
Identificador	http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6716 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/13002
Idioma(s)	中文
Fonte	肖祁陵.氧分压和沉积速率对ＹＳＺ薄膜残余应力的影响　.中国激光　,2009,36(5):1195－1199
Palavras-Chave	#其他
Tipo	期刊论文