LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质

用电子柬蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂（LiB3O3，简称LBO）晶体上沉积了ZrO2薄膜。采用分光光度计和X射线衍射技术对LBO晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究。实验结果表明：基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响，即X-LBO，Y-LBO和Z-LBO上沉积的ZrO3薄膜分别沿m（-212），m（021）和o（130）择优生长，且m（021）择优取向的ZrO3薄膜具有最高的折射率和最小的晶格不匹配。