离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究

利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率，运用哈德雷方程，并考虑基片后表面的影响，对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明，在同一波长情况下，膜厚小于100nm的纳米Cu膜光学常数随膜厚变化明显；膜厚大于100nm后，Cu膜的光学常数趋于一定值。Cu膜不连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不同；不同厚度的连续膜的光学常数随波长变化规律相同，但大小随膜厚变化而变化。