新型掺杂LiAlO2晶体衬底研究

本文系统研究了LiAlO2晶体及掺钛0．2％原子分数LiAlO2晶体的水解性能，用原子力显微镜对（100）晶片在不同水解时间下的表面形貌进行了观察，对比发现这两种晶体的（100）面均具有极性和易水解性。同时观察到掺钛LiAlO2晶体的抗水解性比纯LiAlO2晶体更好，因为掺钛LiAlO2晶体有更多的Li空位，水解的活性得到降低。