表面处理对蓝宝石衬底的影响

蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料，是生长GaN、Zno材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶衍射对蓝宝石衬底进行了分析测试，系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。