积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用

从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响，得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系，为步进扫描投影光刻系统中积分棒的设计提供了依据。