石英玻璃表面金属沉积层的界面研究

就石英玻璃的金属化进行了初步研究，综合考虑石英玻璃管和金属的特点，合理选择金属化膜层；采用磁控溅射工艺在石英玻璃表面镀制薄膜，利用俄歇电子能谱（AES）进行了界面分析。发现膜层在沉积过程中有轻微的扩散和界面还原反应现象，后期的热处理使这种现象变得更加显著。600℃时界面扩散变得明显，Ni膜中Mo的含量达到了20％；800℃时界面扩散已经很严重，表层Ni膜渗过Mo膜进入到Ti层。因此在后期处理时，温度应控制在700℃左右。对样品灯进行了检验，加速寿命及灯头耐压检验结果均通过初步考核。