准分子激光光束均匀技术

由于放电结构及谐振腔的限制，准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理，从衡量光束均匀性的各项指标出发，评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。