探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统

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Autoria(s): 赵成强; 徐文东; 洪小刚; 李小刚; 唐晓东

Data(s)	2009
Identificador	http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6371 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/11425
Idioma(s)	中文
Fonte	赵成强,徐文东,洪小刚,李小刚,唐晓东.探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统.光学学报,2009,29(2):473-477
Palavras-Chave	#等离子物理学 #光刻 #表面等离子体共振 #原子力显微镜 #探针
Tipo	期刊论文