针尖扫描原子力显微镜的光点跟踪设计

提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜（AFM）的光点跟踪设计方案，结构简单，容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高，而且能使原子力显微镜实现较大范围的针尖扫描。实验结果表明，采用此光点跟踪设计方案的针尖扫描原子力显微镜能实现最大100μm×100μm范围的扫描，z方向上的误差最大1nm，能很好地满足大样品扫描的需要。