光学光刻中的离轴照明技术
Data(s) |
2005
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Resumo |
本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析。研究表明,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术。 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
郭立萍;黄惠杰;王向朝.光学光刻中的离轴照明技术,激光杂志,2005,26(1):23-25 |
Palavras-Chave | #光学光刻 #离轴照明 #分辨率 #焦深 #Profith仿真 |
Tipo |
期刊论文 |