低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究
| Data(s) |
2006
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|---|---|
| Resumo |
利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜．采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物，利用旋涂的方法成膜，对其折射率，传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究．测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系．实验表明，该方法工艺简单，可以获得具有较低损耗的波导薄膜．测试得到632．8nm波段的损耗系数为0．23dB／cm．采用ICP刻蚀工艺获得了较为平整的条形波导． |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
庞拂飞;韩秀友;蔡海文;方祖捷.低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究,光子学报,2006,35(4):509-512 |
| Palavras-Chave | #溶胶-凝胶法 #有机-无机混合波导 #ICP |
| Tipo |
期刊论文 |
