深刻蚀光栅的最新进展

深刻蚀光栅是指亚波长光栅的表面浮雕结构达到一定的优化刻蚀深度，实现特定偏振衍射效率最大值或者偏振控制。光栅是重要的光学器件，在光谱仪、激光核聚变装置中广泛使用。以往的光栅大多是浅表面调制的，也就是表面浮雕的深度不是很深。虽然光栅的理论和制造工艺取得了巨大的进展，但以前并没有预言过，石英光栅通过深刻蚀工艺可以实现偏振分光功能。