飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响

利用10倍的显微物镜将近红外飞秒激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6HSiC的前表面，研究样品的烧蚀及诱导微细结构。用扫描电镜（Scanning electron microscope，SEM）及光学显微镜测量烧蚀斑。利用烧蚀面积与激光脉冲能量的关系确定SiC的烧蚀阈值。给出了SiC样品的烧蚀阈值与飞秒激光波长的依赖关系。实验结果表明，可见光区随波长增加，烧蚀阈值从0．29J／cm^2增加到0．67J／cm^2；而在近红外区，SiC的烧蚀阈值为0．70J／cm^2左右，基本上不随激光波长变化而改变。结合计算结