硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响
| Data(s) |
08/08/2009
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| Resumo |
通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena pro-gram)程序模拟了工业8 in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
力学与实践.2009,31(4):24-27 |
| Palavras-Chave | #提拉法 #单晶硅 #流动振荡 #提拉速率 |
| Tipo |
期刊论文 |
